本报讯 记者金晓玲报道 12月16日，沈阳芯源微电子设备股份有限公司（简称芯源微）在上海证券交易所科创板成功首发上市，成为辽宁省科创板“第一股”和中国半导体光刻设备上市“第一股”。业内人士评价，芯源微上市标志着我国光刻设备正式进入资本市场开启加速发展，为光刻机这一半导体装备中的核心战略产品国产化及成套供应打下基础。

　　半导体被称作制造业皇冠上的明珠，半导体产业是信息技术产业的核心，是推动传统工业转型升级和提升中国制造水平的重要支撑。2002年，中科院沈阳自动化研究所在沈阳高新区发起创立芯源微，其产业领域处于半导体装备产业链的上游核心环节。

　　通过多年创新研发和应用积累，芯源微连续牵头承担国家02重大专项，拥有专利350余项，主持制定两项行业标准，是目前国内唯一的中高端涂胶显影设备提供商；自主开发了涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机等产品，累计销售近700台套，拥有海内外近百家重大客户。芯源微成为国家首批专精特新“小巨人”企业，获评中国半导体设备行业十强，被业界公认为“隐形冠军”。“市场上最新款的华为手机、苹果手机，用的都是芯源微设备封装出来的芯片。”芯源微董事长、总经理宗润福说，“芯源微最新推出的拳头产品‘奉天1号’，可覆盖100亿元市场规模。我们就是要让全世界都知道，辽宁能生产出国际顶尖的高精尖设备。”

　　芯源微的快速发展，成为辽宁实施创新驱动发展战略的最好实例。在打造半导体装备世界级企业进程中，芯源微联合沈阳科仪、拓荆科技、新松公司、自动化所等企业、院所，形成协同发展和产业集聚效应，带动沈阳建成全国最完整的IC（集成电路）装备产业链条。

　　“芯源微的成功上市，让沈阳高新区良好的IC装备产业生态和众多优质企业受到资本的关注。”沈阳高新区党工委委员张书炜说，“沈阳科仪、富创精密、拓荆科技、中科博微等一批企业已与多家投资公司合作，即将陆续迈入科创板行列。”